WEKO3
アイテム
Development of LCD Slice Image Overlay Device with Electromagnetic Wave Measurement
http://hdl.handle.net/10445/6785
http://hdl.handle.net/10445/6785fe88de9a-17c2-4d19-846b-0163ceef35c8
| Item type | 会議発表論文 / Conference Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2013-04-15 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Development of LCD Slice Image Overlay Device with Electromagnetic Wave Measurement | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | eng | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_5794 | |||||
| 資源タイプ | conference paper | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
| 著者 |
佐藤, 生馬
× 佐藤, 生馬× Funakubo, akio× Kamiuchi, Hiroki× Liao, Hongen× Yamashita, Hiromasa× Dohi, Takeyoshi× Masamune, Ken |
|||||
| 書誌情報 |
2009 JSME-IIP / ASME-ISPS Joint Conference on Micromecharonics for Information nad Precision Equipment p. 389-390, 発行日 2009-06-17 |
|||||
| 査読有無 | ||||||
| 値 | あり/yes | |||||
| 研究業績種別 | ||||||
| 値 | 国際会議/International Conference | |||||
| 単著共著 | ||||||
| 値 | 共著/joint | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 日本機械学会 | |||||
